エプソン、高温ポリシリコンTFT液晶パネル新工場パイロットランを開始

●セイコーエプソン（株）は、2004年7月22日に北海道千歳市の工業団地「千歳美々ワールド」に竣工した高温ポリシリコンTFT液晶パネル（HTPS）製造のための新工場にて、予定通りこの10月よりパイロットランを開始した。

同工場は、エプソンとしては初めての300mm（12インチ）ウェハー石英ガラスを使用した最先端の３LCD液晶プロジェクター向けHTPS製造ラインとなる。

新工場では、エプソンとして初めての300mm（12インチ）ウェハー石英ガラスによる最先端HTPS製造の新技術を導入し、リードタイムの飛躍的短縮、高品質確保のプロセス強化等を図っていく予定だという。また、省エネ機器の採用、様々な生産プロセス改革による産業廃棄物の低減等、環境配慮型の工程設計を実施するとしている。

（Phile-web編集部）