日立、次世代光ディスク用露光装置を開発

原盤露光装置

●（株）日立製作所は、DUV（深紫外線）レーザーを使用した次世代光ディスク対応の原盤露光装置を開発し、4月1日から販売を開始する。本装置は、CDやDVDと同じ直径12cmサイズで青色レーザー対応、高密度、相変化ディスクの製造工程のコアとなるもの。

本装置は、光ディスクの製造工程のうちマスタリングプロセスで使用されるものです。マスタリングプロセスでは、レジストを塗布されたガラス原盤にＤＵＶレーザーを照射してピット及びウォブルと呼ばれる溝を形成するためにレジストを露光させる工程を担っている。DUVレーザーの採用（257nmの短波長化）、色収差補正されていない対物レンズを用いた高精度オートフォーカス機構の採用、レーザービームの光軸補正機構の採用、外乱に対して安定性の高い摩擦駆動式スライダの搭載等を行うことで、次世代光ディスクの大容量化・高密度化に対応した。

今回開発した装置では現在のDVDの露光もオプションで可能で、導入時は現在の機器の対応仕様で導入し、将来は次世代仕様に切替えることも行える。

同社では、今後、次世代光ディスクの各種フォーマットが開示された段階で、本装置を使用して実証ディスクを作成し、詳細の実機調整を行う予定。（Phile-web編集部）